准分子激光由Nikolai Basov, V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所发明。使用电子束激发氙气二聚体,产生的准分子激光波长为172nm。
1975年包括美国政府的海1军研究实验室、诺思罗普研究和技术中心,温州准分子预混气,Avco Everett研究实验室,和美国桑迪亚国家实验室在内的多家政府研究机构研究利用电子束激发惰性气体卤化物。
1979年西德Lambda Physik公司生产出第1台商业用准分子激光器。
迄今为止已经发现的能够产生准分子激光的气体有10多种。
所谓准分子激光,准分子预混气公司,是指受激二聚体所产生的激光。之所以产生称为准分子,是因为它不是稳定的分子,是在激光混合气体受到外来能量的激发所引起的一系列物理及化学反应中曾经形成但转瞬即逝的分子,准分子预混气供应,其寿命仅为几十毫微秒。准分激光是一种气体脉冲激光,所产生的是波长为193nm的准分子激光,它是一种超紫外线光 波,此波长的激光吸收范围窄,激光的能量几乎完全被角1膜上皮细胞和基质吸收,准分子预混气体,超过这个范围的组织不会吸收到激光,每一个激光脉冲可以切削0.2到 0.25um厚度的生物组织,所以周围的组织不会损伤。
产品名称:准分子激光气体(Excimer Laser Gases)
其他名称:氟化ya激光气体(193nm);氟化ke激光气体(248nm);氯化氙激光气体(308nm)
工业技术的升级转型需要平衡日益增长的性能需求与加工速度及制造成本之间的矛盾。准分子激光的诞生,以其高光子能量所称著,在对突破材料限制需求越来越迫切的时代,准分子激光器再次站在了尖端工业激光解决方案的前沿。作为当今较有效、较可靠的脉冲紫外激光技术的代表,准分子激光器有效地1推进了诸如半导体、AMOLED平板显示、薄膜、硅底板加工、有机金属沉淀、高温超导、刻蚀、材料研究、汽车制造、生物医1疗、光纤、钻石打标设备及可替代能源等多种成长型工业中的技术革新。
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